第一章 PECVD产业概述 1
1.1 PECVD定义及原理 1
1.1.1 PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）定义 1
1.1.2 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)原理 2
1.2 PECVD分类及应用 3
1.3 PECVD产业链结构 5
1.4 PECVD产业发展趋势 6
第二章 PECVD设备结构与工艺流程 7
2.1 PECVD设备结构
2.2 PECVD工艺流程 9
第三章 PECVD产、供、销、需市场现状和预测分析 12
3.1 PECVD生产、供应量综述 12
3.2 PECVD管式 板式市场份额 17
3.3 PECVD需求量及供需关系一览 20
3.4 2018-2015全球及中国PECVD成本 价格 产值 利润率一览 21
第四章 国外PECVD核心企业（14个）研究 22
4.1 Centrotherm（德国）(管式PECVD) 22
4.2 Roth-Rau（德国）（平板式PECVD） 24
4.3 ASMI（日本）(管式PECVD) 26
4.4 Gebr.Schmid（德国）(管式PECVD) 28
4.5 Jonas & Redmann（德国）(管式PECVD) 30
4.6 JUSUNG（韩国）(管式PECVD,但主要产品是薄膜PECVD) 32
4.7 LPT（德国）(管式PECVD) 34
4.8 MVSystems（美国）(管式PECVD) 36
4.9 ProTemp（美国）(管式PECVD) 38
4.10 SFA（韩国）(管式PECVD) 40
4.11 Singulus（德国）(管式PECVD，除晶硅外也有薄膜PECVD) 42
4.12 SVCS（捷克）(管式PECVD) 43
4.13 Tempress Systems（荷兰）(管式PECVD) 45
4.13 岛津（日本）(平板式PECVD) 47
第五章 国内PECVD核心企业（8个）研究 49
5.1 北方微电子(平板式PECVD) 49
5.2 七星微电子(管式PECVD) 51
5.3 CETC48所(管式PECVD) 53
5.4 大族光伏(管式PECVD) 55
5.5 沈阳科仪(管式PECVD) 56
5.6 青岛华旗(管式PECVD) 58
5.7 捷佳伟创(管式PECVD) 60
5.8 赛瑞达(管式PECVD) 62
第六章 PECVD项目可行性分析 64
6.1 PECVD项目机会风险分析 64
6.2 100管管式PECVD项目可行性分析 65
第七章 PECVD产业研究总结 66
报告图表目录
图 管式PECVD实物图 1
图 板式PECVD实物图 2
图 管式 板式PECVD内部结构图 3
表 晶硅太阳能电池片PECVD分类及应用领域一览表 3
图 PECVD产业链结构图 5
图 PECVD设备结构示意图 8
表 PECVD操作工艺流程步骤 9
表 2018-2021年全球22个企业PECVD产能及总产能（兆瓦）一览表 12
表 2018-2021年全球22个企业PECVD产能市场份额一览表 12
表 2018-2021年全球22个企业PECVD产量及总产量（兆瓦）一览表 13
表 2018-2021年全球22个企业PECVD产量市场份额一览表 14
图 2018-2021年全球PECVD产能产量（兆瓦）及增长率 15
表 2018-2021年全球PECVD总产能利用率一览表 15
表 2018-2021年中国8个企业PECVD产能及总产能（兆瓦）一览表 15
表 2018-2021年中国8个企业PECVD产能市场份额一览表 16
表 2018-2021年中国8个企业PECVD产量及总产量（兆瓦）一览表 16
表 2018-2021年中国8个企业PECVD产量市场份额一览表 16
图 2018-2021年中国PECVD产能产量（兆瓦）及增长率 17
表 2018-2021年中国PECVD总产能利用率一览表 17
表 2018-2021年全球管式 板式PECVD产量（兆瓦）及市场份额一览表 17
表 2018-2021年中国管式 板式PECVD产量（兆瓦）及市场份额一览表 18
表 2018-2021年全球19个企业管式PECVD产量及总产量（兆瓦）一览表 18
表 2018-2021年全球19个企业管式PECVD产量市场份额一览表 19
表 2018-2021年全球3个企业板式PECVD产量（兆瓦）及市场份额一览表 19
表 2018-2021年中国7个企业管式PECVD产量及总产量（兆瓦）一览表 20
表 2018-2021年中国7个企业管式PECVD产量市场份额一览表 20
表 2018-2021年全球PECVD供应量 需求量 缺口量（GW）一览表 20
表 2018-2021年中国PECVD供应量 需求量 缺口量（MW）一览表 21
表 2018-2021年国际PECVD产量（台） 售价、成本、利润（百万美元/台）产值（百万美元）利润率一览表 21
表 2018-2021年国内PECVD产量（台） 售价、成本、利润（百万美元/台）产值（百万美元）利润率一览表 21
表 Centrotherm公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 22
表 2018-2021年德国Centrotherm PECVD产量（台） 23
图 2018-2021年德国Centrotherm PECVD产能产量(MW)及增长率 24
表 Roth-Rau公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 24
表 2018-2021年德国Roth-Rau PECVD产量（台） 25
图 2018-2021年德国Roth-Rau PECVD产能产量（MW）及增长率 26
表 ASMI公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 26
表 2018-2021年日本ASMI PECVD产量（台） 27
图 2018-2021年日本ASMI PECVD产能产量（MW）及增长率 28
表 Gebr.Schmid公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 28
表 2018-2021年德国Gebr.Schmid PECVD产量（台） 29
图 2018-2021年德国Gebr.Schmid PECVD产能产量（MW）及增长率 30
表 Jonas & Redmann公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 30
表 2018-2021年德国Jonas & Redmann PECVD产量（台） 31
图 2018-2021年德国Jonas & Redmann PECVD产能产量（MW）及增长率 32
表 JUSUNG公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 32
表 2018-2021年韩国 JUSUNG PECVD产量（台） 33
图 2018-2021年韩国 JUSUNG PECVD产能产量（MW）及增长率 34
表 LPT公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 34
表 2018-2021年德国 LPT PECVD产量（台） 35
图 2018-2021年德国 LPT PECVD产能产量（MW）及增长率 36
表 MVSystems公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 36
表 2018-2021年美国 MVSystems PECVD产量（台） 37
图 2018-2021年美国 MVSystems PECVD产能产量（MW）及增长率 38
表 ProTemp公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 38
表 2018-2021年美国 PorTemp PECVD产量（台） 39
图 2018-2021年美国 PorTemp PECVD产能产量（MW）及增长率 40
表SFA公司信息一览表（产品、客户、原料设备、扩产计划等13项内容） 40
表 2018-2021年韩国 SFA PECVD产量（台） 41
图 2018-2021年韩国 SFA PECVD产能产量（MW）及增长率 41
表 Singulus（德国）公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 42
表 2018-2021年德国 Singulus PECVD产量（台） 42
图 2018-2021年德国 Singulus PECVD产能产量（MW）及增长率 43
表 SVCS（捷克）公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 43
表 2018-2021年捷克 SVCS PECVD产量（台） 44
图 2018-2021年捷克 SVCS PECVD产能产量（MW）及增长率 45
表 Tempress Systems（荷兰）公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 45
表 2018-2021年荷兰 Tempress PECVD产量（台） 46
图 2018-2021年荷兰 Tempress PECVD产能产量（MW）及增长率 46
表 岛津（日本）公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 47
表 2018-2021年日本岛津 PECVD产量（台） 48
图 2018-2021年日本岛津PECVD产能产量（MW）及增长率 49
表 北方微电子公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 49
表 2018-2021年北方微电子PECVD产量（台） 50
图 2018-2021年北方微电子PECVD产能产量（MW）及增长率 51
表 七星微电子公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 51
表 2018-2021年七星微电子PECVD产量（台） 52
图 2018-2021年七星微电子PECVD产能产量（MW）及增长率 52
表 CETC48所公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 53
表 2018-2021年CETC48 PECVD产量（台） 54
图 2018-2021年CETC48 PECVD产能产量（MW）及增长率 54
表 大族光伏所公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 55
表 2018-2021年大族光伏 PECVD产量（台） 55
图 2018-2021年大族光伏 PECVD产能产量（MW）及增长率 56
表 沈阳科仪公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 56
表 2018-2021年沈阳科仪 PECVD产量（台） 57
图 2018-2021年沈阳科仪 PECVD产能产量（MW）及增长率 58
表 青岛华旗公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 58
表 2018-2021年青岛华旗 PECVD产量（台） 59
图 2018-2021年青岛华旗 PECVD产能产量（MW）及增长率 60
表 捷佳伟创公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 60
表 2018-2021年捷佳伟创 PECVD产量（台） 61
图 2018-2021年捷佳伟创 PECVD产能产量（MW）及增长率 62
表 赛瑞达公司信息一览表（联系信息 产品 客户 市场地位 产能 产地等13项内容） 62
表 2018-2021年赛瑞达 PECVD产量（台） 63
图 2018-2021年赛瑞达 PECVD产能产量（MW）及增长率 64
表 PECVD项目机会风险一览表 64
表 100管管式PECVD项目可行性分析一览表 65
